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          臺(tái)積電、Intel、三星狂買ASML EUV光刻機(jī)

          作者: 時(shí)間:2022-06-19 來(lái)源:ZOL 收藏

          在北美技術(shù)論壇上公布了新的制程路線圖,定于2025年量產(chǎn)2nm工藝,其采用Nanosheet(納米片電晶體)的微觀結(jié)構(gòu),取代FinFET。期間,甚至規(guī)劃了5種3nm制程,包括N3、N3E、N3P、N3S和N3X,要在2025年前將成熟和專業(yè)化制程的產(chǎn)能提高50%,包括興建更多的晶圓廠。

          本文引用地址:http://yuyingmama.com.cn/article/202206/435317.htm

          顯然,作為產(chǎn)能提升以及興建晶圓廠的關(guān)鍵核心設(shè)備,少不了要采購(gòu)一大批。表示,計(jì)劃在2024年引入的新一代EUV極紫外光刻機(jī)。

          此前,曾說(shuō)自己是第一個(gè)訂購(gòu)下一代的廠商,計(jì)劃2025年前使用上。這邊也是不甘示弱,本周副會(huì)長(zhǎng)李在镕親赴荷蘭會(huì)見(jiàn)高層,據(jù)說(shuō)至少爭(zhēng)取到了18臺(tái)(ASML今年預(yù)計(jì)出貨51臺(tái)EUV)。資料顯示,荷蘭ASML正在研發(fā)新款光刻機(jī)High-NA EXE:5200(0.55NA),所謂High-NA也就是高數(shù)值孔徑,2nm之后的節(jié)點(diǎn)都得依賴它實(shí)現(xiàn)。這款光刻機(jī)價(jià)值高達(dá)4億美元(約合26億元人民幣),雙層巴士大、重超200噸。



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