光刻

光刻Top 　　利用照相復制與化學腐蝕相結合的技術，在工件表面制取精密、微細和復雜薄層圖形的化學加工方法。光刻原理雖然在19世紀初就為人們所知，但長期以來由于缺乏優(yōu)良的光致抗蝕劑而未得到應用。直到20世紀50年代，...... [查看詳細]