3月26日，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”推進會在科技部召開，科技部部長萬鋼、專項領(lǐng)導小組成員單位的領(lǐng)導出席會議。此次會議的召開標志著該重大專項已經(jīng)進入全面實施階段。

　　據(jù)介紹，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項面向全國廣泛征集項目，經(jīng)過嚴格的篩選及“三評兩審”立項程序，目前擬啟動54個項目，其中，裝備整機15項、成套工藝11項、關(guān)鍵材料9項、關(guān)鍵技術(shù)與零部件11項、前瞻性研究等8項，總投資180多億元。

　　“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套先進工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況，帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。該重大專項的實施將會在整體上極大地提升我國電子制造業(yè)和裝備制造業(yè)的創(chuàng)新能力和競爭力。據(jù)了解，目前該重大專項已經(jīng)啟動的項目大多具有較好的產(chǎn)業(yè)化基礎和良好的市場發(fā)展前景。

　　專家認為，在中央擴大內(nèi)需十項措施和十大產(chǎn)業(yè)調(diào)整振興規(guī)劃實施之際啟動“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項，是發(fā)揮科技支撐作用，促進經(jīng)濟平穩(wěn)較快發(fā)展的重大行動，對提高“擴內(nèi)需、保增長”的科技含量，從根本上實現(xiàn)“調(diào)結(jié)構(gòu)、上水平”的目標，推動我國經(jīng)濟盡快走上創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展軌道具有重要意義。