3月18日SEMICON China 2009展會(huì)第二天，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第45研究所與美國(guó)Strasbaugh公司就300mm CMP項(xiàng)目合作舉辦了隆重的簽字儀式，工業(yè)和信息化部副部長(zhǎng)婁勤儉出席了簽約儀式。

　　45所所長(zhǎng)郭永興表示：“300mm晶圓的化學(xué)機(jī)械拋光是國(guó)家重點(diǎn)扶持的項(xiàng)目，也是當(dāng)前晶圓加工的關(guān)鍵設(shè)備之一。雙方在這一技術(shù)領(lǐng)域的互利合作將大大促進(jìn)我國(guó)關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備的開發(fā)推廣及應(yīng)用，對(duì)CMP設(shè)備產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展起到積極的促進(jìn)作用。”

　　Strasbaugh公司在平面技術(shù)領(lǐng)域有著60多年的歷史，其半導(dǎo)體材料及IC制造業(yè)的拋光研磨技術(shù)處于世界領(lǐng)先地位。自從去年與45所簽訂代理協(xié)議后，其CMP產(chǎn)品成功地應(yīng)用在IC制造行業(yè)及大學(xué)實(shí)驗(yàn)室研究領(lǐng)域。Strasbaugh公司副總裁Michael Kirkpatrick表示，將進(jìn)一步加強(qiáng)與45所的合作，共同開發(fā)中國(guó)市場(chǎng)，為300mm CMP項(xiàng)目的合作做出貢獻(xiàn)。