“TSMC現(xiàn)在已有三座12英寸晶圓廠，下一步會(huì)是18英寸廠。從時(shí)間上來(lái)看，18英寸晶圓真正投入生產(chǎn)應(yīng)該在2016年之后。”TSMC中國(guó)業(yè)務(wù)發(fā)展副總經(jīng)理羅鎮(zhèn)球稱(chēng)。

 

現(xiàn)在有三家公司（英特爾、TSMC、三星）投資ASML光刻設(shè)備的計(jì)劃，因?yàn)樵谶M(jìn)入18英寸時(shí)會(huì)有很多的坎要過(guò)，包含設(shè)備、光學(xué)等。

 

目前看來(lái)10納米的光刻工藝基本上只有兩種選擇，一個(gè)是EUV深紫外光，一個(gè)是Immersion浸潤(rùn)式光刻技術(shù)。Immersion技術(shù)是TSMC的研發(fā)人員開(kāi)始研發(fā)的。事實(shí)上，無(wú)論是走到EUV，還是Immersion，整個(gè)成本支出跟批量生產(chǎn)的能力都還有許多困難要克服。

 

在工藝的發(fā)展上有物理上的極限，大家想把技術(shù)做到物理的極限。然而在產(chǎn)業(yè)整體來(lái)看, 我們面對(duì)的不僅僅是物理的極限，還有經(jīng)濟(jì)上的極限和功耗的極限。

 

那么，摩爾定律還能撐多久？實(shí)際上，摩爾定律是個(gè)比較概念性的說(shuō)法。目前TSMC的研發(fā)人員已經(jīng)在研究7納米。“摩爾定律有很多坎要走，可能也不會(huì)像過(guò)去說(shuō)18個(gè)月翻番，他可能會(huì)變成20個(gè)月、24個(gè)月?？墒沁@個(gè)概念一直還是往下走。我們看到7納米是可以做到的。”羅鎮(zhèn)球說(shuō)。

 

不僅在工藝方面，在材料和器件結(jié)構(gòu)方面也在演進(jìn)。例如TSMC進(jìn)入28nm時(shí)，就開(kāi)始采用高K-金屬柵極（HKMG）等材料；TSMC進(jìn)入16nm時(shí)，將開(kāi)始采用FinFET 3D晶體管制造技術(shù)。

 

未來(lái)進(jìn)入10nm、7nm時(shí)怎么做，怎么進(jìn)入18英寸？三個(gè)大聯(lián)盟成員（TSMC、英特爾和三星）可能各有各的思路。