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          微米級電子芯片檢測這都不是事兒――福祿克Tix660紅外熱像儀可對微米級別的目標(biāo)進(jìn)行檢測

          作者: 時(shí)間:2016-10-18 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

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          本文引用地址:http://yuyingmama.com.cn/article/201610/308651.htm

          小芯片的檢測一直是研發(fā)領(lǐng)域檢測的難點(diǎn),常見的熱像儀可有效檢測的最小目標(biāo)通常為0.2mm以上,對于別的芯片晶格和元器件來說,需要在像素和光學(xué)系統(tǒng)上均達(dá)到一定性能要求才可以準(zhǔn)確檢測。

          高端配套專用的微距鏡頭,可對最小32微米的目標(biāo)進(jìn)行有效檢測。

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          芯片的晶格

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          TiX660加裝微距鏡頭3拍攝的芯片晶格

          應(yīng)用案例:

          某研究所需要檢測芯片晶格的溫度分布情況。從現(xiàn)場的檢測情況來看,兩排晶格器件,上排器件的溫度為34.1℃,而下排器件的溫度為34.2℃,說明在散熱方面,各方位排列的器件的散熱情況是不相同的,研究人員可以據(jù)此測試不同的排列對器件的影響,并對某些問題器件進(jìn)行單獨(dú)檢測。

          檢測要求:

          檢測的目標(biāo)小于0.2mm,現(xiàn)場有紅外窗口遮擋,故無法近距離檢測,需要在10厘米處才可以安放熱像儀

          解決方案:

          大師系列熱像儀 + 微距鏡頭3 + 長焦鏡頭 + 三腳架 + 二維可調(diào)精密位移云臺

          微距鏡頭3+長焦鏡頭的配置正好可以滿足檢測小目標(biāo)和較遠(yuǎn)的對焦距離的雙重需求,為使現(xiàn)場檢測對焦方便,使用三腳架+二維可調(diào)精密位移云臺

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          行業(yè)應(yīng)用:

          需要檢測的目標(biāo)小于0.2mm的微電子或電子器件的研究部門,特別是在0.1mm以內(nèi)的電子器件,如芯片、集成電路、電子元器件等。



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