應(yīng)用材料公司日前宣布，推出新的物理氣相沉積(PVD)和電漿強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)，促使超高畫質(zhì)(UHD)電視及高畫素密度屏幕的行動(dòng)裝置邁向新紀(jì)元。

　　這項(xiàng)重大轉(zhuǎn)型技術(shù)的關(guān)鍵是新的金屬氧化物與低溫多晶硅(LTPS)材料，可用來(lái)制造更快速、更小巧的薄膜晶體管(TFT)，適用于液晶顯示器(LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)技術(shù)。Applied AKT-PiVot物理氣相沉積和Applied AKT-PX電漿強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積薄膜沉積系統(tǒng)為面板業(yè)者提供高效能、符合成本效益的途徑，帶動(dòng)先進(jìn)材料的量產(chǎn)。