領(lǐng)先的MEMS設(shè)計(jì)供應(yīng)商Coventor和納電子研究中心imec共同宣布戰(zhàn)略合作，以改善和拓展CMOS和MEMS集成技術(shù)的設(shè)計(jì)與制造。合作將包括雙方研發(fā)路線的統(tǒng)一，及研究?jī)?nèi)容的互補(bǔ)。雙方將共同為imec的SiGe MEMS-above-IC工藝開發(fā)工藝設(shè)計(jì)包。