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	mems壓力傳感器
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
          
                	
          mems壓力傳感器 文章
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          TMP05/06型溫度傳感器及其應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          電容式液位變送器在合成高壓液位測控中的作用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          非接觸位移測量的直線位移傳感器
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光柵莫爾條紋技術的發(fā)展
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          一種硬件細分方法的研究與應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光纖傳感器的今日與發(fā)展
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          一種新型懸浮陀螺式質量流量計的研究
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          傳感器技術在生產實踐中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          基于DSP的陀螺加速度計數(shù)字伺服回路研究
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          氣體傳感器在氣體泄漏事故處置中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          智能自動化及其在儀器儀表中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          傳感器在設施農業(yè)中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          加速傳感器ADXL150特性及其精度影響因素
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光柵傳感器在位移自動測量系統(tǒng)中的應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          生物傳感器技術發(fā)展現(xiàn)狀與展望
          
                                                            
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
	共209條
	2/14			«
														1																2																3																4																5																6																7																8																9																10																																																			»
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          mems壓力傳感器介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為：		      	[ 查看詳細 ]
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		  		        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
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