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EEPW首頁(yè) >> 主題列表 >> mems壓力傳感器

mems壓力傳感器文章最新資訊

擠出生產(chǎn)線中的熔體壓力傳感器

在擠出生產(chǎn)線中，熔體壓力傳感器在提高熔體質(zhì)量，提高生產(chǎn)的安全性以及保護(hù)生產(chǎn)設(shè)備等方面都發(fā)揮著重要的作用。...
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光柵線位移傳感器的結(jié)構(gòu)原理和安裝與維護(hù)

光柵數(shù)顯測(cè)量系統(tǒng)是一種能自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)顯示的光機(jī)電一體化產(chǎn)品，是改造舊機(jī)床，裝備新機(jī)床以及各種長(zhǎng)度計(jì)量?jī)x...
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容柵測(cè)量系統(tǒng)及其應(yīng)用

自從1972年瑞士Trimos公司及其子公司SYLVAC公司研制成功用于長(zhǎng)度測(cè)量的容柵測(cè)量系統(tǒng)以來(lái)，容柵測(cè)量系統(tǒng)在精密...
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超聲波傳感器概述

超聲波傳感器利用聲波介質(zhì)對(duì)被檢測(cè)物進(jìn)行非接觸式無(wú)磨損的檢測(cè)。超聲波傳感器對(duì)透明或有色物體，金屬或非金屬...
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制漿造紙過(guò)程中pH傳感器的清洗

pH傳感器廣泛應(yīng)用于制漿造紙業(yè)。在使用過(guò)程中，紙漿在傳感器上結(jié)垢是在所難免的。這會(huì)明顯降低傳感器的準(zhǔn)確度...
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航海系統(tǒng)中的雙傳感器航星計(jì)程儀測(cè)試系統(tǒng)

在航海系統(tǒng)中，采用計(jì)程儀連續(xù)測(cè)量運(yùn)動(dòng)中船舶的速度并計(jì)算出船舶的累計(jì)航程。本文所設(shè)計(jì)的計(jì)程儀系統(tǒng)采用雙傳...
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國(guó)際智慧型纖維復(fù)合材料的研發(fā)進(jìn)展

近年來(lái)，國(guó)際上對(duì)智慧型復(fù)合材料的研究與開(kāi)發(fā)，分成感測(cè)與動(dòng)作（Actuation）兩大熱門。擁有感測(cè)機(jī)能的智能型復(fù)合材...
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超聲波物位檢測(cè)儀的原理及應(yīng)用

一、前言在許多工業(yè)生產(chǎn)中，如化工、石油、冶金、電力、水處理等行業(yè)，經(jīng)常要對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中存儲(chǔ)在容器、儲(chǔ)罐、...
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基于多傳感器的電梯群控系統(tǒng)研究

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一種新型的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度大小及方向的測(cè)量裝置

目前現(xiàn)有技術(shù)中比較先進(jìn)的轉(zhuǎn)子速度測(cè)量裝置主要是利用轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)測(cè)量裝置內(nèi)的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，再對(duì)轉(zhuǎn)盤進(jìn)行光電...
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無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)技術(shù)研究

具有感知能力、計(jì)算能力和通信能力的無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)（WSN,wirelesssensornetworks）綜合了傳感器技術(shù)、嵌人...
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固態(tài)壓阻壓力傳感器應(yīng)用指南

半導(dǎo)體單晶硅材料在受到外力作用，產(chǎn)生肉眼根本察覺(jué)不到的極微小應(yīng)變時(shí)，其原子結(jié)構(gòu)內(nèi)部的電子能級(jí)狀態(tài)發(fā)生變化...
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吹膜機(jī)溫度指標(biāo)及控制方法

根據(jù)塑料的熔融理論，吹塑薄膜的擠出機(jī)螺桿共分三段：加料段、熔融段、均化段。在加料段末端，進(jìn)入熔融段開(kāi)始時(shí)，根...
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變送器產(chǎn)品分類及選擇分析

傳感器和變送器在儀器、儀表和工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域中起著舉足輕重的作用。與傳感器不同，變送器除了能將非電量轉(zhuǎn)換...
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TURCK的levelprox系列傳感器應(yīng)用工業(yè)中的液位檢測(cè)

主要有兩種方式用于液位的檢測(cè)。除了浮子式或音叉式傳感器，還有一種不需與被檢測(cè)液體直接接觸的檢測(cè)裝置。這...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì)：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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