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液化空氣集團電子氣業(yè)務加強高介電常數(shù)鋯基前驅(qū)體的專利保護
- 液化空氣集團電子氣業(yè)務線近日宣布，其應用于半導體制造的前驅(qū)體ZyALD已獲得中國專利局授予的相關(guān)專利，從而使中國成為了繼韓國、新加坡、中國臺灣以及部分歐洲國家之后又一獲得該項專利的國家。此外，相關(guān)專利的申請工作在其他國家及地區(qū)也預期順利。ZyALD及其它類似分子應用于高介電常數(shù)沉積鍍膜，該工藝目前已在全球范圍內(nèi)獲得11項專利，另有13項專利正在申請中。 ZyALD是上述已獲專利的系列分子中一種重要的鋯前驅(qū)體(功能分子)。該分子能夠在半導體制造工藝中，實現(xiàn)高溫條
- 關(guān)鍵字： 液化空氣 ZyALD ALD
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