高數(shù)值孔值 文章 最新資訊
三星購買了兩款A(yù)SML高數(shù)值孔值EUV工具
- 據(jù)《韓國經(jīng)濟(jì)日報(bào)》報(bào)道,據(jù)報(bào)道,三星將于今年晚些時候收到其首款高數(shù)值孔徑 (high-NA) EUV 掃描儀——Twinscan EXE:5200B,隨后將于 2026 年上半年推出第二臺掃描儀。報(bào)告補(bǔ)充說,雖然該公司已經(jīng)在其華城市園區(qū)運(yùn)營了一種研究用途的高 NA EUV 工具,但新系統(tǒng)將標(biāo)志著其首次旨在大規(guī)模生產(chǎn)的收購。報(bào)告指出,競爭對手臺積電目前正在測試該系統(tǒng)的研發(fā)版本,但尚未將其部署用于商業(yè)規(guī)模制造。報(bào)道援引消息人士的話稱,SK海力士在9月份證實(shí)已經(jīng)訂購了生產(chǎn)級高NA EUV系統(tǒng)。據(jù)報(bào)道援引消息人士
- 關(guān)鍵字: 三星 ASML 高數(shù)值孔值 EUV
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