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          我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破

          作者: 時間:2009-06-12 來源:中國資源綜合利用協(xié)會 收藏

            科技部和中國行業(yè)協(xié)會在洛陽中硅高科組織召開驗收評審會。中硅高科承擔(dān)的國家"十一五"科技支撐計劃課題大型合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統(tǒng)研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個課題和參與完成的標(biāo)準(zhǔn)、專利體系建設(shè)與研究課題順利通過驗收評審。專家認(rèn)為,這四項科技成果成功解決了規(guī)?;?a class="contentlabel" href="http://yuyingmama.com.cn/news/listbylabel/label/多晶硅">多晶硅生產(chǎn)中的瓶頸問題,填補國內(nèi)空白,標(biāo)志著我國生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破。

          本文引用地址:http://yuyingmama.com.cn/article/95206.htm


          關(guān)鍵詞: 電子材料 多晶硅 三氯氫硅

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