1可見(jiàn)，擬合的電容誤差小于1%.由此可見(jiàn)，在不同的時(shí)刻測(cè)得UO（t），通過(guò)曲線擬合得出參數(shù)RC.再給電路加小信號(hào)直流電源，測(cè)出R值，即求得C，通過(guò)C值則可知被測(cè)環(huán)境的壓力。圖5為350℃時(shí)，不同的壓力所對(duì)應(yīng)的電容的理論值和實(shí)驗(yàn)值，從實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)（表2）可得，在測(cè)壓的過(guò)程中，利用模型識(shí)別的方法，誤差較小，其測(cè)壓誤差小于2%.

3結(jié)束語(yǔ)

基于模型識(shí)別技術(shù)的高溫微型壓力傳感器電路簡(jiǎn)單、工藝成本較低、體積小、可批量生產(chǎn)、準(zhǔn)確度高。該傳感器避免了電阻式高溫壓力傳感器的自補(bǔ)償電路在高溫環(huán)境下工作時(shí)熱靈敏度漂移引起的誤差，也避免了其它電容式高溫壓力傳感器非線性補(bǔ)償電路在高溫環(huán)境下工作。該傳感器適合在各種高溫環(huán)境下測(cè)量氣體或液體的壓力。