中國(guó)首條全自動(dòng)化8英寸MEMS生產(chǎn)線投產(chǎn)
近日,中國(guó)電子系統(tǒng)工程二號(hào)建設(shè)有限公司(CESE2)宣布,中國(guó)蚌埠傳感器谷8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目首批產(chǎn)品成功下線。這標(biāo)志著我國(guó)首條全自動(dòng)化8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線,也是首條擁有全套工藝設(shè)備的壓電MEMS量產(chǎn)線正式投產(chǎn)。
此前,中國(guó)高端MEMS芯片嚴(yán)重依賴進(jìn)口。該產(chǎn)線的投產(chǎn)有望有效緩解國(guó)內(nèi)產(chǎn)能短缺,實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵領(lǐng)域,特別是汽車電子和工業(yè)控制領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化,從而保障產(chǎn)業(yè)鏈安全。
此外,中國(guó)首條全自動(dòng)8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線的建立和投產(chǎn),標(biāo)志著蚌埠市從傳統(tǒng)制造中心向以智能傳感器為中心的創(chuàng)新中心轉(zhuǎn)型。該國(guó)家戰(zhàn)略性項(xiàng)目總投資50.6億元人民幣(7.1億美元),占地79畝,規(guī)劃總建筑面積約6萬(wàn)平方米。一旦全面建成,其每月3萬(wàn)片晶圓的海量產(chǎn)能不僅將鞏固其在國(guó)內(nèi)MEMS生產(chǎn)中的領(lǐng)先地位,還將支撐中國(guó)高端制造供應(yīng)鏈的自主權(quán)和可控力。









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