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          AMIES 在中國光刻機推進中崛起,報告稱其占據(jù)國內(nèi)市場約 90%

          作者: 時間:2025-10-21 來源: 收藏

          在中國舉辦的 SEMiBAY 2025 芯片展會上,多家公司展示了該國日益增強的半導體制造能力,其中包括與華為關聯(lián)設備制造商 SiCarrier 相關的子公司。除了 SiCarrier 以外,還有另一家引起關注的公司——AMIES Technology(以下簡稱 AMIES),這是中國新興的光刻裝備廠商。根據(jù) South China Morning Post 的報道,AMIES 展出了被視為中國推動減少對荷蘭巨頭 ASML 依賴的一系列設備。

          據(jù)中國 “STAR Market Daily” 報道,AMIES 是中國國家主導的光刻機制造商 Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE) 的衍生公司。SMEE 主要專注于開發(fā)前端核心設備,而 AMIES 則意在加速其設備的商業(yè)化進程。
          據(jù) STCN 報道,SMEE 自主研發(fā)的 “600 系列”光刻系統(tǒng)已經(jīng)進入規(guī)模生產(chǎn)階段(90 納米節(jié)點),目前正在向 28 納米浸沒式(immersion)模型發(fā)展。

          South China Morning Post 報道指出,AMIES 在該展會上展示了一系列產(chǎn)品組合,包括:化合物半導體光刻機、激光退火系統(tǒng)、先進檢測工具,以及用于封裝與晶圓鍵合的方案。

          AMIES 在光刻與封裝設備上的進展

          據(jù) STAR Market Daily 報道,AMIES 的先進封裝光刻機主要面向高端芯片封裝應用(包括人工智能與先進智能終端),具備高分辨率、超大曝光場、支持高度彎曲基板等能力,能夠滿足晶圓級與面板級先進封裝(如 Flip Chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP、2.5D/3D 集成)需求。
          公司宣稱其產(chǎn)品已在業(yè)內(nèi)獲得廣泛認可。South China Morning Post 指出,AMIES 表示其先進封裝光刻機在全球擁有約 35 %的市場份額,在中國國內(nèi)則約占 90%。
          2025 年 8 月,據(jù) ITHome 報道,AMIES 宣布其已出貨第 500 臺步進式光刻機。

          中國光刻技術推進中的其他關鍵玩家

          作為中國推動芯片自給自足戰(zhàn)略的一部分,多家公司正在爭相開發(fā)國內(nèi) DUV(深紫外)和 EUV(極紫外)光刻系統(tǒng)。South China Morning Post 報道,Zetop Technologies(部分由 SiCarrier 持股、以及被美國制裁的中國科學院 Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics 出資)擁有數(shù)位領先的 EUV 光學研究人員作為股東。
          此外,報道還提及位于上海的 Yuliangsheng(SiCarrier 亦持有其股份)曾向中國最大的晶圓代工廠 SMIC 提供一臺 28 納米 DUV 光刻系統(tǒng),用于 7 納米生產(chǎn)測試。



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