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          什么是MOS的體效應(body bias)

          作者: 時間:2025-08-20 來源:硬十 收藏

          通常,我們將視為一個三端器件,包括柵極、源極和漏極。然而,襯底是其隱藏的第四個端子。下圖為一個nMOS,g、s、d、b分別代表柵極、源極、漏極和襯底。

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          上圖為以nMOS為例,簡述其關斷、線性區(qū)和飽和的條件

          絕大多數(shù)情況下,設計將襯底和源極連在一起,但是有時候出于性能考慮(如在芯片工作模式下實現(xiàn)高Ion和在芯片睡眠模式下實現(xiàn)低Ioff)會通過施加體偏置來動態(tài)調整晶體管的閾值電壓。大多數(shù)情況下我們將閾值電壓(Vt)視為常數(shù)。然而,Vt隨源極電壓的增加而增加,隨襯底電壓的增加而減小,隨漏極電壓的增加而減小,并隨溝道長度的增加而增加 。

          進入正題: (body bias)簡介

          當在源極和襯底之間施加電壓Vsb時,它會增加反轉溝道所需的電荷量,從而增加Vt。Vt可以建模為:

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          其中Vt0是襯底連接到源極時的閾值電壓,φs是閾值時的表面電位(有關表面電位的進一步討論,請參閱 [Tsividis99] 等器件物理學著作),γ是系數(shù),通常在0.4到1V^(1/2)的范圍內。這些參數(shù)具體值取決于溝道中的摻雜水平。會進一步降低傳輸弱值(例如,nMOS傳輸“1”,前文提到的nMOS可以傳輸強“0”弱“1”)的直通晶體管的性能,下文將描述如何有意施加體偏置來改變閾值電壓,從而在性能和亞閾值漏電流之間進行權衡。

          上述公式可簡化為:

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          從公式可知,通過調節(jié)Vsb可以調制閾值電壓Vt,這就是利用了體效應的特性。體效應的用途舉例:可以使用低閾值電壓 (low-Vt) 器件,并在芯片睡眠模式期間施加反向體偏置 (RBB:reverse body bias) 以減少漏電流,體偏置可以施加到電源門控晶體管上,以便在芯片睡眠期間更有效地將其關閉;或者,可以使用高閾值電壓 (higher-Vt) 器件,然后在芯片工作模式期間施加正向體偏置 (FBB:forward body bias) 以提高性能。

          施加體偏置需要額外的電源軌來分配襯底和阱電壓。例如,對于1.0V n阱工藝,RBB方案可以將p型襯底偏置在VBBn=–0.4V,將n阱偏置在VBBp=1.4V。

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          體效應 (body bias)的可靠性風險

          由下面這個公式可推導出,體效應隨著柵氧化層厚度 (tox) 變薄而減弱。

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          可靠性風險總結:

          1、 如設計中沒有妥善管理因體效應增加的漏電流,可能會導致芯片功耗過高,甚至引發(fā)熱失控等問題

          a)帶間隧穿 (BTBT) 引起的結漏電流:施加過大的反向體偏置(例如,低于-1.2V)會導致通過BTBT效應產生更大的結漏電流,從而增加功耗并影響器件性能。

          b)體到源二極管電流:施加過大的正向體偏置(例如,高于0.4V)會導致大量電流通過體到源二極管,這也會增加功耗并可能導致器件損壞。


          熱載流子注入 (Hot Carrier Injection, HCI):這是最主要的可靠性問題之一。施加反向體偏壓會增強溝道內的電場,加速電子獲得能量成為“熱載流子”。這些高能載流子會注入并損傷柵極氧化層,導致晶體管的閾值電壓發(fā)生漂移、跨導下降和驅動電流減小,從而使器件性能隨時間推移而退化,最終導致電路失效。b)偏壓溫度不穩(wěn)定性 (Bias Temperature Instability, BTI): 在高溫和電場共同作用下,柵氧化層與半導體界面處會產生陷阱電荷,導致閾值電壓漂移。體偏壓,特別是反向體偏壓,會加劇電場強度,從而加速BTI效應,縮短器件的可靠運行壽命。c)應力導致的性能退化: 持續(xù)施加反向體偏壓會增加器件內部的應力,長期下來可能導致器件性能退化,例如擊穿電壓的降低。

          總而言之,體偏壓是一把“雙刃劍”。它為現(xiàn)代集成電路設計提供了在性能和功耗之間動態(tài)優(yōu)化的強大工具,但設計者必須仔細評估并緩解其帶來的可靠性風險,如熱載流子效應、BTI以及設計復雜性等,才能確保芯片在整個生命周期內的穩(wěn)定可靠。



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