株式會社村田制作所（以下簡稱“村田”）近日宣布，成功開發(fā)出面向工業(yè)設(shè)備的數(shù)字三軸 MEMS ^（1）加速度傳感器“SCA3400系列”。該系列產(chǎn)品在長期使用過程中的偏移壽命漂移^（2）值控制在 0.5mg（毫伽）以下，在業(yè)內(nèi)處于居先水平^（3），具備優(yōu)異的耐久性和長期穩(wěn)定性，適用于橋梁、建筑等結(jié)構(gòu)物的劣化監(jiān)測系統(tǒng)，預(yù)計將于2025年10月開始量產(chǎn)。

注釋

1.MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）：一種通過對硅片等材料進(jìn)行精密加工，集成傳感器結(jié)構(gòu)與電子電路的微型化制造技術(shù)。

2.偏移壽命漂移：指傳感器在長期使用過程中，其輸出值隨時間發(fā)生偏移的現(xiàn)象。該數(shù)值越高，代表漂移程度越大。

3.數(shù)據(jù)來源：截至2025年6月23日，由村田提供。

隨著工業(yè)設(shè)備數(shù)字化進(jìn)程加速，對結(jié)構(gòu)物和機(jī)械設(shè)備異?；驌p傷的自動檢測需求日益增長，預(yù)測性維護(hù)的重要性也顯著提升。在此背景下，利用傳感器監(jiān)測狀態(tài)變化，已成為實現(xiàn)自動化運(yùn)維的重要手段之一。尤其在橋梁、建筑等結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測領(lǐng)域，監(jiān)測通常需要長期持續(xù)進(jìn)行，因此，加速度傳感器是否能夠準(zhǔn)確捕捉結(jié)構(gòu)物的微小形變或位移變化，將直接影響整個監(jiān)測系統(tǒng)的可靠性。然而，傳統(tǒng)高精度加速度傳感器雖能檢測細(xì)微傾斜，但其偏移壽命漂移值較高，隨著使用時間的延長，輸出基準(zhǔn)易發(fā)生偏移，進(jìn)而難以準(zhǔn)確判斷結(jié)構(gòu)物的劣化情況。

為應(yīng)對上述挑戰(zhàn)，村田結(jié)合自有 MEMS 制造工藝與先進(jìn)電路設(shè)計，開發(fā)出“SCA3400系列”產(chǎn)品，實現(xiàn)了在檢測微小傾斜角度的同時，將偏移壽命漂移控制至 0.5mg 以下。該產(chǎn)品還具備出色的抗振動性能和溫度穩(wěn)定性，在惡劣工業(yè)環(huán)境中亦可實現(xiàn)長期穩(wěn)定運(yùn)行。

未來，村田將持續(xù)推動高精度 MEMS 加速度傳感器技術(shù)的發(fā)展，滿足市場的多樣化需求。

主要特點

1.偏移壽命漂移值控制在 0.5mg 以下，適合長期穩(wěn)定輸出需求。

2.低噪聲特性，可支持捕捉微小的動態(tài)變化。

3.具備良好的抗振動和抗溫度變化能力，適用于嚴(yán)苛工作環(huán)境。

4.內(nèi)置自診斷功能，可實時監(jiān)控傳感器運(yùn)行狀態(tài)，提升系統(tǒng)安全性。

5.外形尺寸與接口方式延續(xù)以往產(chǎn)品設(shè)計，便于客戶減少額外設(shè)計工時。

主要規(guī)格