功率MOSFET的感性負載關斷過程和開通過程一樣，有4個階段，但是時間常數不一樣。驅動回路的等效電路圖如圖1所示，RG1為功率MOSFET外部串聯的柵極電阻，RG2為功率MOSFET內部的柵極電阻，RDown為驅動電路的下拉電阻，關斷時柵極總的等效串聯柵極電阻RGoff=RDown+RG1+RG2。

(3)模式M3：t7-t8

從t7時刻開始，ID電流從最大值減小，VDS電壓保持電源電壓VDD不變，當VGS電壓減小到VGS(th)時，ID電流也減小到約為0時，這個階段結束。

VGS電壓的變化公式和模式1相同，只是起始電壓和結束電壓不一樣。

(4)模式M4：t8-t9

這個階段為ID電流為0，VDS電壓保持電源電壓VDD不變，當VGS電壓減小到0時，這個階段結束，VGS電壓的變化公式和模式1相同。

在關斷過程中，t6~t7和t7~t8二個階段電流和電壓產生重疊交越區(qū)，因此產生開關損耗。

關斷損耗可以用下面公式計算：

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