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          納米技術在微電子方面的應用

          作者: 時間:2012-10-04 來源:網(wǎng)絡 收藏

          本文引用地址:http://yuyingmama.com.cn/article/164862.htm

          這種納米粒子的功能在其有機外殼熱分解去除后便展示出來。圖5顯示了銀納米粒子的熱分析結果(DTA/TG曲線)。從DTA曲線來看,在發(fā)熱反應開始的同時,粒子質量迅速減少,可以認為這時的有機外殼已被分解與去除。而且,當提升加熱速度時,分解溫度則向高溫側移動。圖6顯示了分解結束溫度與加熱速度的關系,從圖可知,即使把加熱速度加快到20℃/m,分解也在 265℃左右結束,在300℃以下出現(xiàn)納米粒子的功能。也就是說,在300℃以下可利用該納米粒子進行連接。

          圖5 銀納米粒子熱分析結果(DTA/TC曲線)

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          圖6 有機外殼分解結束溫度與加熱溫度的關系

          2 有機物—銀復合納米粒子的連接特點

          日本大阪大學銅質圓板型試驗片作銀納米粒子連接試驗,分別測出了銀微米粒子(平均粒徑為100nm)和銀納米粒子的脆斷強度(見圖7)。其中,該試驗是在300℃、保溫300min、加壓5Mpa的條件下進行的。如圖7所示,納米粒子連接與微粒子連接相比,顯示出了很高的脆斷強度。

          圖7 脆斷強度結果

          用電鏡分別對各自的連接斷面觀察,發(fā)現(xiàn)用銀微米粒子的場合,其與銅的連接面有空隙狀缺陷。銀微米粒子的觸點破壞發(fā)生在銀/銅界面,所得的5Mpa左右的觸點強度被認為是兩者簧片的機械連接結果。而銀納米粒子的觸點破壞面被認為是銀伸長而塑性變形的痕跡,其在界面附近的銀層中會斷裂(圖8)。由此可見,用銀納米粒子連接比用銀微粒子連接的界面強度更高。

          圖8 銀納米粒子燒結層/Cu界面附近的TEM圖像



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