基于ARM的擴散／氧化控制系統(tǒng)的設(shè)計
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在本系統(tǒng)中使用晶閘管控制的電阻絲給擴散／氧化爐加溫，為了防止市電對系統(tǒng)的影響，必須使用光電隔離器隔離本系統(tǒng)與市電的連接。
圖2 ILC7135 A／D轉(zhuǎn)換原理圖
2.3 氣路系統(tǒng)和推拉舟系統(tǒng)的硬件設(shè)計
在擴散／氧化工藝中，根據(jù)工藝的不同需要通入4種不同種類和質(zhì)量的氣體。所以在氣路控制系統(tǒng)中，需要4路開關(guān)量控制4種不同氣體的通斷，以及4路模擬量控制氣體質(zhì)量流量計。質(zhì)量流量計能夠輸出4 mA～20 mA或0～5 V的氣體質(zhì)量信號，在控制精度要求不高的系統(tǒng)中，可以不理會質(zhì)量流量計輸出的氣體質(zhì)量信號，為了保證控制精度，可以采集氣體質(zhì)量信號。
在4路開關(guān)量控制中，可以使用繼電器控制通斷。
在4路模擬量控制氣體質(zhì)量流量計中，需要4路D／A轉(zhuǎn)換。根據(jù)控制精度的要求，選用12位的D／A芯片DAC1230，因為控制信號為電壓信號，所以需要把電流信號轉(zhuǎn)換成電壓信號。圖3即為氣路控制系統(tǒng)D／A轉(zhuǎn)換原理圖。
圖3 氣路控制系統(tǒng)D／A轉(zhuǎn)換原理圖
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