高電阻測量已成為多種測試應(yīng)用的組成部分，包括印制電路板的表面電阻（SIR）測試、絕緣材料和半導(dǎo)體的電阻率測量、高歐姆值電阻的電壓系數(shù)測試等。確保高電阻測量（即高于1GΩ [10P9P歐姆]的電阻）的精度需要使用大量的特殊技術(shù)和儀器，例如靜電計(jì)、源測量單元（SMU）、或皮可安培計(jì)/電壓源組合。靜電計(jì)可以采用恒壓或恒流的方法測量高電阻。

恒壓方法

       采用恒壓方法測量高電阻需要能夠精確測量低電流的儀器和一個(gè)恒定的直流電壓源。某些靜電計(jì)和皮可安培計(jì)提供了內(nèi)置電壓源，能夠自動計(jì)算出未知的電阻。圖1給出了利用靜電計(jì)或皮可安培計(jì)（圖1a）或SMU的恒壓方法的兩種基本配置。在這種方法中，一個(gè)恒壓源（V）與未知電阻（R）和安培計(jì)（IBMB）串聯(lián)在一起。由于安培計(jì)上的電壓降可以忽略不計(jì)，因此所有的測試電壓都加載在R上。產(chǎn)生的電流由安培計(jì)測出，電阻可以根據(jù)歐姆定律計(jì)算出來（R= V/I）。

       由于高電阻通常是所施加電壓的函數(shù)，恒壓方法一般比恒流方法更有優(yōu)勢。通過在選定電壓下進(jìn)行測試，可以得到電阻與電壓的關(guān)系曲線，從而測出電阻的電壓系數(shù)。例如，6517B型靜電計(jì)（如圖2所示）可以利用恒壓方法測量電阻，由于電壓系數(shù)的作用它適合于測量極高的電阻。

       恒壓方法需要精確測量低電流，因此必須考慮與低電流測量相關(guān)的誤差源。其中包括不正確屏蔽的安培計(jì)連接，與安培計(jì)電壓負(fù)荷和輸入偏移電流相關(guān)的問題，以及待測器件的源電阻。外部誤差源包括線纜和夾具的漏電流，以及由于靜電或壓電效應(yīng)產(chǎn)生的電流。

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