近日，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司佳音頻傳，繼高密度等離子刻蝕機中標國家集成電路先導工藝研發(fā)項目后，ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機中標上海藍光LED項目。ELEDE 330由北方微電子自主研制生產，是我國首臺直接面向LED大生產線的ICP刻蝕系統(tǒng)，實現了北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展。此次中標，標志著北方微電子LED刻蝕設備獲得市場主流生產線的充分肯定，使我國高端LED設備的國產化水平得到了新的提升。

　　上海藍光科技有限公司是中央企業(yè)彩虹集團控股的全國首家從事氮化鎵基LED外延片及芯片產業(yè)化生產的企業(yè)，是國家“863”計劃光電子領域成果轉化基地，是國家發(fā)展與改革委員會確定的新材料專項產業(yè)化示范工程項目。