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          mems傳感器 文章
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          微諧振傳感器同頻干擾的建模與消除
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光傳感器新走向：有源集成Vs無源分立
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光柵尺的安裝
          
                                                            
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
	共228條
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		      			      			      	       MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術，并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。
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