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ASYST推出AMHS新方案增加晶圓廠的生產力
- 具有競爭力的晶圓廠必須一方面做到高設備利用率，一方面又使處于制程中的晶圓量維持在最低，同時還必須讓晶圓生產周期壓縮到最短。這兩項要求可能互相抵觸。而解決的關鍵是不要讓簡稱為「AMHS」的「自動物料處理系統(tǒng)」成為晶圓處理過程中的瓶頸，限制了晶圓廠的表現(xiàn)。 為半導體及平面顯示器制造廠提供整合式自動化解決方案領導供貨商ASYST今天宣布推出Agile Automation,這是一種在半導體晶圓廠新的自動化物料處理（Automated Material Handling）方式。 Agile A
- 關鍵字： 晶圓 ASYST AMHS Agile Automation
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