基礎知識之薄膜壓電MEMS

• 壓電表示壓電元件（Piezoelectric　Element、Piezoelectric Device），壓電元件是指通過施加力（壓力）產(chǎn)生電壓（壓電效應），或與之相反，通過施加電壓產(chǎn)生變形（逆壓電效應）的元件。壓電元件使用具有壓電效應的壓電材料。施力時，（+）正離子、（-）負離子的位置會移動，產(chǎn)生（+）和（-）電荷的偏移（電極化），從而產(chǎn)生電壓。利用壓電效應的主要用途是傳感器，利用逆壓電效應的主要用途是執(zhí)行機構。壓電材料的種類壓電材料大致分為單晶、陶瓷、薄膜等。羅姆采用的是使用鋯鈦酸鉛（PZT）的薄膜壓
• 關鍵字： 薄膜壓電MEMS