用鉬縮放內存

• 鉬作為當今半導體制造中常用的各種金屬的替代品，尤其是在前沿節(jié)點上，看起來越來越有希望。芯片制造商正在一個接一個地將先進節(jié)點的金屬從清單上劃掉。雖然釕襯里幾乎可以生產(chǎn)，但這種金屬還沒有準備好在高度規(guī)模的互連中取代銅。釕非常昂貴，目前的制造工藝也無濟于事。此外，imec 研究員 Zsolt T?kei 表示，大馬士革方案中“過度沉積和拋光”步驟產(chǎn)生的廢物量也是一個嚴重的問題。雖然減材金屬化減少了廢物量，但它需要對整個過程進行更重大、更昂貴的改變。銅并不是唯一跑道較短的金屬。晶體管觸點、內存中的字線和類似應用通
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