- 離子探針顯微分析離子探針的學名叫作二次離子質譜儀（Second Ion Mass Spectroscopy---SIMS），它在功能上與電子 ...
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離子探針 顯微
離子探針介紹
離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面，測射出原子及分子的二次離子，在磁場中按質荷比（m/e）分開，可獲得材料微區(qū)質譜圖譜及離子圖像，再通過分析計算求得元素的定性和定量信息。離子探針適用于許多不同類型的樣品分析，包括金屬樣品、半導體器件、非導體樣品，如高聚物和玻璃產品等。廣泛應用于金屬、半導體、催化劑、表面、薄膜等領域中以及環(huán)保科學、空間科學和生物化學等研究部門?！ ≈饕ㄋ牟糠? [
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