硅微加工 文章 最新資訊
基于MEMS技術的微型氣相色譜柱的研制
- 目前，微型氣相色譜系統的發(fā)展方向是微型化和集成化，把進樣器、預集中器、色譜柱、加熱器、檢測器都集成在單個...
- 關鍵字： 色譜柱 柱溫 固定相 氣相色譜 擴散系數 硅微加工 Giddings-Golay Martin-James Michigan MartinATP
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硅微加工介紹
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