深紫外激光技術(shù) 文章 最新資訊
應(yīng)用材料公司推出Applied DFinder檢測系統(tǒng)
- 應(yīng)用材料公司推出Applied DFinder檢測系統(tǒng)，用于在22納米及更小技術(shù)節(jié)點(diǎn)的存儲和邏輯芯片上檢測極具挑戰(zhàn)性的互連層。作為一項突破性的技術(shù)，該系統(tǒng)是首款采用深紫外(DUV)激光技術(shù)的暗場檢測工具，使芯片制造商具有前所未有的能力，在生產(chǎn)環(huán)境中檢測出圖形化晶圓上極小的顆粒缺陷，從而提高產(chǎn)品良率。DFinder系統(tǒng)專門針對互連層的檢測而設(shè)計，因此總擁有成本比其它暗場檢測系統(tǒng)最多可降低40%。這對芯片制造而言是一項非常關(guān)鍵的優(yōu)勢，因為在這個過程中可能會涉及50多個獨(dú)立的檢測步驟。
- 關(guān)鍵字： 應(yīng)用材料 深紫外激光技術(shù)
| 共1條 1/1 1 |
深紫外激光技術(shù)介紹
您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條深紫外激光技術(shù)!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對深紫外激光技術(shù)的理解，并與今后在此搜索深紫外激光技術(shù)的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對深紫外激光技術(shù)的理解，并與今后在此搜索深紫外激光技術(shù)的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
關(guān)于我們 -
廣告服務(wù) -
企業(yè)會員服務(wù) -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機(jī)EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473