一種增大質(zhì)量塊的三軸MEMS加速度計(jì)的設(shè)計(jì)

• 　　馮?堃，張國俊，王姝婭，戴麗萍，鐘志親（電子科技大學(xué)?電子科學(xué)與工程學(xué)院，成都611731）　　摘?要：介紹了一種增大質(zhì)量塊設(shè)計(jì)的三軸MEMS加速度計(jì)。該加速度計(jì)基于絕緣體上硅（SOI）硅片，采用雙面光刻、干法刻蝕的工藝，利用了部分SOI硅片的底層硅部分來增大加速度計(jì)的質(zhì)量塊，設(shè)計(jì)了基于單一米字形質(zhì)量塊的三軸MEMS電容式微加速度計(jì)。根據(jù)不同的外界加速度對器件產(chǎn)生的不同位移，研究了在三個軸向的加速度計(jì)的靈敏度，同時分析了加速度計(jì)的交叉軸耦合的影響。最后結(jié)合Ansys仿真結(jié)果得出：所設(shè)計(jì)的微加速度計(jì)具有
• 關(guān)鍵字： 202005  微機(jī)械系統(tǒng)  三微加速度計(jì)  高靈敏度  絕緣體上硅