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復合量程文章最新資訊

復合量程微加速度計動態(tài)特性分析

1 引言
隨著硅微機械技術的不斷發(fā)展，基于壓阻原理的微加速度計已成為商品。由于硅的機械性能優(yōu)良，這些微加速度計往往具有較高的抗過載能力。然而，有些物理過程存在相差上百倍的多個加速度值需要測量，需要測
關鍵字：復合量程動態(tài)特性分析微加速度計

共1條 1/1 1

復合量程介紹

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