各SiC基板企業(yè)在‘ICSCRM 2013’上紛紛展出150mm(6寸)口徑的SiC基板(a)。在SiC基板上層積外延層的外延服務(wù)也開始支援150mm。昭和電工已于2013年10月推出了這項(xiàng)服務(wù)(b)。

現(xiàn)在，已經(jīng)投產(chǎn)6寸產(chǎn)品并開始供應(yīng)樣品的主要基板企業(yè)只有美國(guó)科銳、新日鐵住金等少數(shù)幾家公司。為了改變這種格局，美國(guó)道康寧、美國(guó)貳陸(II-VI)、德國(guó)Si-Crystal等歐美企業(yè)，以及中國(guó)SICC、南韓SKC等眾多基板企業(yè)都已經(jīng)宣布投產(chǎn)6寸產(chǎn)品。匯總各公司的計(jì)劃來看，在2015年之前，供應(yīng)6寸產(chǎn)品的企業(yè)將增加到近10家左右。除此之外，昭和電工還表明，在SiC基板上層積外延層的外延服務(wù)也將支援6寸基板。隨著各公司把6寸產(chǎn)品納入視野，基板企業(yè)之間的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)將日趨激烈，功率元件企業(yè)將有望以更低的成本，采購(gòu)到需要的基板。