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          采用綜合學(xué)科研究法有效封裝MEMS加速儀(二)

          作者: 時間:2013-11-19 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
          料的模量。

          采用綜合學(xué)科研究法有效封裝MEMS加速儀(二)

          圖字:storage modulus (MPa):儲能模量(MPa);Temp:溫度

          圖6 固晶膠E的存儲模量

          用內(nèi)部確定的固晶E的性能對封裝進行的模態(tài)分析表明,它的固有頻率大于20 kHz。此外,圖4顯示了固晶E的裂紋擴展能量與固晶A相似,因此不會產(chǎn)生芯片斷裂的問題。因此,固晶膠E被用于替換固晶膠D,因為它非常柔韌,不會使芯片斷裂,同時也具有足夠的硬度,滿足共振要求。對這種新的固晶材料進行鑒定檢測和試封裝后發(fā)現(xiàn),整個測試樣本中沒有出現(xiàn)任何芯片斷裂。

          結(jié)語

          本文16引線SOIC封裝的完整工藝流程進行了評估解以了解造成低ppm水平芯片斷裂的裂紋擴展和傾向。找出了兩個危害最大的關(guān)鍵工序。影響最大的是焊接回流工序,其次是引線粘結(jié)工序。引起芯片斷裂的主要參數(shù)是感應(yīng)單元固晶膠的硬度。目前使用的固晶膠D使感應(yīng)單元基片芯片非常容易出現(xiàn)斷裂。通過反向工程確定了可以同時滿足感應(yīng)單元固有頻率和封裝可靠性需求的固晶材料。采用推薦的固晶膠E后,封裝在處理通常會引入裂紋和感應(yīng)單元固有頻率要求的工藝時表現(xiàn)更加強韌。


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          關(guān)鍵詞: MEMS 加速儀

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