圖五

　　圖六

　　SM95D/G在充油芯體上應(yīng)用測試：

　　我們利用SM95D通過標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)工藝對其進(jìn)行粘片、壓焊等，最后生產(chǎn)出壓力傳感器成品(壓力芯體)，測試其參數(shù)性能，測試芯片為SM95系列中1KPa差壓型Die，型號為：SM9520-010M-G-D，芯片封裝形式如圖七，芯片測量壓焊如圖八。

　　圖七

　　圖八

　　通過以上壓焊工作后，對傳感器自身參數(shù)進(jìn)行測試，其溫度漂移實測表如表一。

　　表一

　　將基于SM9520-010M-G-D的芯體做到變送器進(jìn)行TC零漂、正反行程、靈敏度等參數(shù)實測，其測試數(shù)據(jù)如表二。

　　表二

　　通過以上測試數(shù)據(jù)可以看出，SM95系列在壓力芯體上的應(yīng)用對靈敏度溫漂和零點時漂測試，同樣對重復(fù)性和遲滯進(jìn)行測試，其性能指標(biāo)均能達(dá)到行業(yè)較高水平。該芯片可以作為陶瓷封裝芯片使用也可作為充油方式使用。

　　結(jié)束語：

　　基于SMI公司的SM95D/G系列表壓及差壓型微壓壓力芯片(DIE)從產(chǎn)品內(nèi)部結(jié)構(gòu)、工藝技術(shù)以及實際應(yīng)用到變送器上測試的角度來說，其在壓力芯體上的應(yīng)用參數(shù)性能均達(dá)到較高水平，其1KPa及10KPa型號非常適合用在壓力充油產(chǎn)品上，希望大家根據(jù)不同的應(yīng)用及壓力參數(shù)要求選擇合適的壓力芯片。

　　參考文獻(xiàn)：

　　1、SM95D-G_Datasheet

　　2、SMI compressed

　　3、SMI芯片測試報告 2017-8-17