1971年，安捷倫利用激光技術生產出可測量百萬分之一英寸長度的激光干擾儀。惠普激光干擾儀目前仍是制造微處理器芯片時首選儀器?；萜找怖妙愃频目萍奸_發(fā)出一種激光儀器----第一個電子勘測工具。